潔凈室分級的核心指標(biāo)是單位體積（每立方米）空氣中，特定粒徑懸浮粒子的最大允許數(shù)量，主要關(guān)注 ≥0.1μm、≥0.2μm、≥0.3μm、≥0.5μm、≥5μm 五個粒徑區(qū)間（不同等級關(guān)注的粒徑不同，高潔凈等級需檢測更小粒徑）。以下是典型等級的粒子濃度限值（核心粒徑）：

1. ISO 1 級（最高潔凈等級）

適用于芯片光刻、超高精度傳感器制造等場景，要求每立方米空氣中 ≥0.1μm 粒子 ≤10 個，≥0.5μm 粒子幾乎為 0，需采用單向流（層流）氣流組織，且對溫濕度、振動、靜電控制要求極高。

2. ISO 5 級（對應(yīng)原 “百級” 潔凈室）

是精密制造與醫(yī)藥無菌區(qū)的常用等級，每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520 個，≥5μm 粒子 ≤29 個。典型應(yīng)用包括半導(dǎo)體晶圓加工、制藥無菌灌裝線、醫(yī)院手術(shù)室（A 級區(qū)）。

3. ISO 7 級（對應(yīng)原 “萬級” 潔凈室）

每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤352000 個，≥5μm 粒子 ≤29300 個，適用于電子元器件組裝、制藥配液區(qū)、醫(yī)療器械生產(chǎn)等場景，多采用非單向流（亂流）氣流。

4. ISO 8 級（對應(yīng)原 “十萬級” 潔凈室）

每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520000 個，≥5μm 粒子 ≤293000 個，是通用性較強的等級，適用于食品無菌包裝、化妝品生產(chǎn)、普通電子車間等場景。

5. ISO 9 級

潔凈度最低，接近普通受控環(huán)境，適用于對潔凈度要求不高的輔助區(qū)域，如潔凈室的更衣間、物料暫存區(qū)等。