浙江博開機(jī)電科技有限公司創(chuàng)立于2009年3月，是國家級專精特新“小巨人”企業(yè)與高新技術(shù)企業(yè)。公司在超低溫制冷機(jī)、低溫真空泵方面突破了關(guān)鍵設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝難題，解決了大量卡脖子問題，實(shí)現(xiàn)核心技術(shù)及部件的自主可控，研制成功應(yīng)用于不同領(lǐng)域的系列化的低溫制冷機(jī)、不同口徑的低溫真空泵等產(chǎn)品?，F(xiàn)有低溫泵系列包含200-1800型號，配套的GM制冷機(jī)系列產(chǎn)品已開發(fā)4K、10K、70K等型號，極限低溫可達(dá)-271℃，極限真空度可達(dá)10-9Pa。公司自主研發(fā)的智能型超高真空冷泵，不僅能快速建立并穩(wěn)定維持10??Pa級別的超高真空環(huán)境，還比傳統(tǒng)產(chǎn)品節(jié)能30%以上。該產(chǎn)品已成功應(yīng)用于國內(nèi)多家主流半導(dǎo)體晶圓廠，在PVD、離子注入等核心裝備上實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化替代。

公司核心團(tuán)隊(duì)在低溫、真空領(lǐng)域有十六余年技術(shù)積累。公司低溫真空泵具備完全的自主知識產(chǎn)權(quán)，主打抽速大、極限真空度高、運(yùn)行成本低等特點(diǎn)，旨在替代進(jìn)口產(chǎn)品，主要服務(wù)于半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體行業(yè)的鍍膜制造工藝、航空航天等領(lǐng)域，公司產(chǎn)品打破了國外長期壟斷，并已覆蓋全國、推向全球。企業(yè)總部位于浙江金華，構(gòu)建了“金華總部 + 合肥研發(fā)銷售中心”的雙中心發(fā)展格局。公司秉持“規(guī)范、高效、專業(yè)、超越”的核心理念，深耕行業(yè)十六載，致力于打造中國低溫真空行業(yè)標(biāo)桿，為高端制造與前沿科研提供核心支撐。

核心業(yè)務(wù)與產(chǎn)品

1.公司聚焦低溫真空產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，形成三大核心產(chǎn)品體系：

低溫真空泵系列：覆蓋200mm—1800mm全口徑規(guī)格，含DZB系列、IG系列等，采用無油設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)10-7 Pa級超高潔凈真空，適配半導(dǎo)體先進(jìn)制程等場景。

氦氣壓縮機(jī)系統(tǒng)：推出HC50W、HC80W、HC200W三大型號，以99.999%高純氦氣為介質(zhì)，可與低溫制冷機(jī)無縫銜接，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線。

水汽捕集器：通過專利級低溫冷凝技術(shù)，精準(zhǔn)捕集水蒸氣及高沸點(diǎn)蒸汽，為高潔凈度真空環(huán)境提供保障。

技術(shù)創(chuàng)新與資質(zhì)

公司以技術(shù)創(chuàng)新為核心競爭力，組建專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)并與高等院校深度合作，累計(jì)擁有46項(xiàng)專利、3項(xiàng)軟件著作權(quán)及1個(gè)注冊商標(biāo)，2025年最新申請的“一種低溫制冷機(jī)及制冷方法”專利顯著提升制冷效率。產(chǎn)品通過ISO9001、CE等多項(xiàng)國際認(rèn)證，憑借自主核心技術(shù)打破國外品牌在高端市場的壟斷，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

市場與服務(wù)

公司產(chǎn)品廣泛服務(wù)于集成電路制造、平板顯示、新材料研究等戰(zhàn)略新興領(lǐng)域，遠(yuǎn)銷海外，已在國內(nèi)多家頭部半導(dǎo)體企業(yè)7nm工藝生產(chǎn)線成功應(yīng)用，助力芯片良率提升。建立全周期服務(wù)體系，提供從售前方案咨詢、售中調(diào)試到售后維護(hù)的一站式解決方案，全國服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)保障快速響應(yīng)。

浙江博開機(jī)電科技有公司，創(chuàng)立于2009年3月，實(shí)繳資本1000萬元，2025年11月引入智路資本，是一家致力于將超低溫、超高真空技術(shù)在半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體、核技術(shù)、高端儀器、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域中應(yīng)用落地并形成產(chǎn)業(yè)化的高科技企業(yè)。公司現(xiàn)有員工100+，管理團(tuán)隊(duì)具備理、工、管專業(yè)背景，在超低溫、超高真空行業(yè)具有16年以上研發(fā)、生產(chǎn)、市場、供應(yīng)鏈管理等范圍的豐富經(jīng)驗(yàn)。研發(fā)人員人數(shù)占比超30%。