激光干涉儀使用方法步驟

1.開(kāi)機(jī)與預(yù)熱

接通電源，打開(kāi)激光干涉儀的電源開(kāi)關(guān)。激光器需要預(yù)熱，He-Ne激光器預(yù)熱約30分鐘，半導(dǎo)體激光器預(yù)熱約10分鐘，待激光指示燈變?yōu)榫G色，表明激光已穩(wěn)定。

2.連接設(shè)備

將激光干涉儀與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)通過(guò)通訊電纜連接。如果需要環(huán)境補(bǔ)償，連接環(huán)境補(bǔ)償單元（如EC10）。確保所有設(shè)備連接牢固，電源線(xiàn)接地良好。

3.啟動(dòng)測(cè)量軟件

打開(kāi)計(jì)算機(jī)，啟動(dòng)測(cè)量軟件。根據(jù)軟件提示，輸入必要的參數(shù)，如材料膨脹系數(shù)、環(huán)境補(bǔ)償參數(shù)（溫度、氣壓、濕度）等。

4.安裝光學(xué)元件

固定反射鏡：使用夾緊塊、安裝桿和磁性表座，將反射鏡固定在機(jī)床的不可運(yùn)動(dòng)部件或其它固定部件上。

移動(dòng)反射鏡：同樣使用夾緊塊、安裝桿和磁性表座，將反射鏡固定在機(jī)床的運(yùn)動(dòng)部件上。

干涉鏡：將反射鏡和分光鏡組合成干涉鏡，安裝在適當(dāng)位置。

5.調(diào)整光路

粗調(diào)：使用瞄準(zhǔn)槽或靶標(biāo)，初步調(diào)整激光光路，使激光大致通過(guò)各鏡片的中心。

細(xì)調(diào)：調(diào)整干涉鏡和反射鏡的俯仰和偏擺旋鈕，使測(cè)量光和參考光的反射光斑在光電探測(cè)器上重合。觀察干涉條紋，確保條紋清晰、數(shù)量適中（一般少于10條），分布均勻。調(diào)整光強(qiáng)，使測(cè)量光和參考光的光強(qiáng)匹配，差值不超過(guò)30%。

6.設(shè)定目標(biāo)值

根據(jù)測(cè)量要求，設(shè)定目標(biāo)值，目標(biāo)值的設(shè)定應(yīng)盡可能覆蓋整個(gè)行程范圍。

7.數(shù)據(jù)采集

啟動(dòng)測(cè)量程序，使被測(cè)物按預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)。軟件實(shí)時(shí)顯示測(cè)量數(shù)據(jù)，如位移曲線(xiàn)、角度偏差等。如需記錄數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊“開(kāi)始采集”，測(cè)量結(jié)束后導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

8.數(shù)據(jù)分析

選擇“數(shù)據(jù)分析”菜單，按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。系統(tǒng)給出測(cè)量結(jié)果，如雙向定位精度、重復(fù)性、反向偏差等精度指標(biāo)。

9.關(guān)機(jī)與整理

關(guān)閉測(cè)量軟件，關(guān)閉激光干涉儀和環(huán)境補(bǔ)償單元。斷開(kāi)電源，拆卸所有電源線(xiàn)和電纜線(xiàn)。拆卸光學(xué)元件、夾緊塊、安裝桿和磁性表座，妥善保管。清點(diǎn)所有附件，防止丟失。