一、啟動真空系統(tǒng)

拉出低壓閥，打開充氣閥，確認(rèn)聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，使鐘罩升起。對于某些機(jī)型，需要依次開啟維持泵、真空計(jì)電源，等待真空度達(dá)到一定值（如小于10）后，再開啟機(jī)械泵進(jìn)行預(yù)抽真空。

二、安裝與調(diào)試

安裝鍍膜材料：安裝固定鎢螺旋加熱子（或其他蒸發(fā)源），將鍍膜材料（如鋁絲）穿放在加熱子內(nèi)。

放置基材：把待鍍膜的基材（如PVDF薄膜和鋁蓋板）固定在轉(zhuǎn)動圓盤上，確?；谋砻媲鍧崯o雜質(zhì)。

清理真空室：清理鐘罩內(nèi)各部位，確保無任何雜質(zhì)污物，以免影響鍍膜質(zhì)量。

落下鐘罩：確認(rèn)所有部件安裝完畢后，落下鐘罩，準(zhǔn)備進(jìn)行鍍膜操作。

三、鍍膜過程

抽真空：啟動真空鍍膜設(shè)備的抽真空機(jī)械泵，繼續(xù)降低真空室內(nèi)的氣壓。對于需要高真空的鍍膜工藝，可能需要開啟擴(kuò)散泵等進(jìn)一步降低氣壓。

開通冷卻水：在鍍膜過程中，可能需要開通冷卻水以控制設(shè)備溫度。

啟動鍍膜源：當(dāng)真空度達(dá)到要求后，啟動鍍膜源（如電子槍、蒸發(fā)源等），開始鍍膜操作。根據(jù)鍍膜材料和要求，調(diào)整鍍膜源的功率、氣體流量等參數(shù)。

監(jiān)測鍍膜過程：在鍍膜過程中，使用監(jiān)測儀器（如石英晶體微天平）實(shí)時監(jiān)測薄膜的厚度和質(zhì)量，確保鍍膜效果符合設(shè)計(jì)要求。

四、鍍膜完成

關(guān)閉鍍膜源：當(dāng)鍍膜達(dá)到預(yù)定厚度或時間后，關(guān)閉鍍膜源。

停止抽真空：依次關(guān)閉真空泵、機(jī)械泵等真空設(shè)備，停止抽真空操作。

充氣與升鐘罩：向真空室內(nèi)充氣至大氣壓，然后升起鐘罩，取出鍍膜完成的基材。

清理與維護(hù)：對鍍膜機(jī)進(jìn)行清理和維護(hù)，包括清理真空室、更換耗材等，確保設(shè)備處于良好狀態(tài)。