一、探針的種類有哪些

在晶圓或芯片測試的過程中，通常會使用探針來準(zhǔn)確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測試機，以便檢測產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標(biāo)。那么你知道探針的種類有哪些嗎？

1、就結(jié)構(gòu)而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由螺旋彈簧組成的探針，其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起，以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞，以降低探針對被測試物體的壓力。在檢測集成電路時，信號會從下柱栓流向上方，形成導(dǎo)電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針為探針部提供適當(dāng)?shù)目v向位移，用于通過橫向懸臂接觸待測半導(dǎo)體產(chǎn)品，以避免探針部對待測半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過大的針壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以對應(yīng)高密度信號觸點的待測半導(dǎo)體產(chǎn)品的細(xì)間距排列，針尖接觸待測半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過針體本身的彈性變形來提供。

2、根據(jù)探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探針具有穩(wěn)定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發(fā)生探針偏差。因此，鎢髁合金探針是目前性能良好的一種常見探針。

3、根據(jù)探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于對測試頻率比較敏感的測試環(huán)境；普通探針用于對信號衰減不敏感的測試環(huán)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質(zhì)通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學(xué)惰性和機械性能，對探測的液體和氣體有不同的適應(yīng)性。

（2）形狀：選擇探針的形狀應(yīng)該根據(jù)實驗需求進(jìn)行選擇，通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等。考慮到實驗的靈敏度問題，在選用探針時必須與被測物相匹配。

（3）長度：探針的長度是下降液面幅度的關(guān)鍵因素。為獲得準(zhǔn)確的下降水平，要根據(jù)實際測量需求選擇合適的長度。

（4）直徑：探針的粗細(xì)通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的探針會影響測量的靈敏度，過細(xì)的探針則可能會導(dǎo)致探針的折斷。

（5）表面處理：在實驗中，探針處于探測的介質(zhì)中，探針的表面形態(tài)和性質(zhì)會直接影響到測量結(jié)果。因此，探針的表面要求經(jīng)過光潔處理和表面處理。

2、探針的要求

（1）質(zhì)量問題：在使用過程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會導(dǎo)致測量誤差增大，嚴(yán)重時可能會損壞實驗設(shè)備。

（2）加工工藝問題：在探針的制作過程中，要保證探針的形狀、尺寸的精確與穩(wěn)定。

（3）使用注意事項：避免在測量過程中引入空氣，勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動測量，對于使用多個探針進(jìn)行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。

（4）存儲和保養(yǎng)問題：盡可能地保證存儲環(huán)境無除塵、避光性好；探針表面不能有刮傷等損壞，使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。